Ptヒーター基板加熱機構（FPV型ヒーターユニット）
FPT型基板加熱ユニットは、白金ヒーター、インコネルの基板ホルダー、ヒーターハウジング、リフレクター等により構成されており、酸化雰囲気の中で蒸着、スパッター等の方法により薄膜を作成するときに基板を高熱に加熱することができます。
ヒーターの熱効率を上げるために白金の板ヒーター構造としています。
基板ホルダー、側部リフレクターはピンによる引っ掛け式構造により取りはずしが容易です。
ヒートプレートによる間接加熱、あるいは白金ヒーターの直接加熱が可能です。
標準仕様
| 型式 | FPV-60 |
|---|---|
| 発熱体 | 白金板ヒーター |
| 基板寸法 | φ60、50角基板 |
| 加熱温度 | 常用 900℃ |
| 基板ホルダー | 最大 1000℃ 真空中(ヒートプレート上にて) |
| 基板ホルダー | インコネル600 |
| リフレクター | インコネル600 |
| 雰囲気 | 真空、不活性ガス、酸化雰囲気 |
| 昇温時間 | 30分（1000℃） |
| 外形寸法 | φ130×60H |
| 熱電対 | C-A |
| 真空内リード線 | 標準長さ300L |
※サンプルの材質、ユニット支持方法、雰囲気等により、基板温度は変わります。
真空加熱機構
MOR-100小型真空加熱ユニットは、現在所有している真空装置、例えば、蒸着装置に取り付け、高真空炉として活用できるようにする為の機構です。
- 超高真空部品、例えばMBE装置のウェハーホルダー、Kセル部品等のガス出し(1100℃)
- SUS等の部品の熱処理（1200℃）
- ハイテクろう付け（900℃）
特徴
- ヒーター、リフレクター電極が一体で構成されている為、ユニットを装置の中に据え置くだけで炉体が組み上がります。分解、組み立てが容易です。
- 大電流不要のヒーター構造です。
標準仕様
| 型式 | MOR-100 円筒型小型炉 |
|---|---|
| 有効炉内寸法 | φ100×160H φ60～φ150×100H～200H |
| 炉内温度 | 1300℃、1500℃ (全モリブデン仕様) |
| 発熱体 | モリブデンワイヤーヒーター |
| リフレクター | モリブデン |
| 昇温時間 | 40分(1300℃炉内にて) |
| 電力容量 | 単相40V、53A(1300℃定常時) 3KVA(容量) |
| 外形寸法 | φ250×390mm |
| 雰囲気 | 真空、不活性ガス、還元 |
| 熱電対 | WR5％-WR26％ |
| 真空内リード線 | 標準長さ300L |
オプション
- 加熱ユニット制御電源 （PID制御、プログラムコントロール）
- 電流導入端子
- 熱電対導入端子
- 内部均熱筒（ろう付け等に最適）
真空基板加熱ユニット
特徴
- CVD・PVD基板加熱実験に最適！
- シリコンや新素材基板の小片基板の高温加熱実験にお使いいただいています。
- 省スペースの真空容器内での各種基板を高温に加熱します。
- 小電流で加熱できますのでほとんどの電源にて昇温できます。
真空加熱機構の各種パーツ
詳細はこちらをご覧ください (PDF)
標準仕様
| 標準仕様 | MHB40 |
|---|---|
| 発熱体 | 標準 タンタル(※1) |
| 加熱温度 | 700℃平均安定温度 |
| 加熱範囲 | 最大40ｍｍ角 |
| 加熱電流 | 7～10A程度 |
| 使用雰囲気例 | 真空ベース |
| ユニットサイズ | φ92×H52mm |
| ユニット材質 | ステンレス(SUS304) |
| 標準価格 | 250,000円～ (消費税別) |
付属品
- 真空内リード線 500L×２本
オプション(※1）
- 熱電対 Kセンサー 他
- ヒーター素材 タングステン・モリブデン・白金・ニクロムなど選択
- ユニット材 チタン・インコネル・ハステロイ
- 特注対応 基板サイズ・チャンバースペース等の要望により設計対応します
基板加熱ヒーター（アルミ青銅ヒーター） ACシリーズ
低価格で簡単加熱！特徴
- シーズヒーターをアルミ青銅に鋳込みました。各種平面資料に対応できるように、平面仕上げをしていますので、いろいろな昇温実験に使うことができます。
- 真空中に限らず、常温大気中でお使いいただけます。ユニット固定台と資料ホルダーはオプションとなりますが、加熱基材にあわせて設計製作いたします。
- アルミ青銅鋳込み仕様は2022年度に仕様変更を予定しています。在庫分を持って仕様変更になりますのでご了承ください。
真空チャンバーでの基材取付機構例標準仕様
| 型式 | AC207070 |
|---|---|
| ヒーター本体寸法 | 18t×70×70 |
| ヒーター重量 | 約1000g |
| 電気容量 | 100V 350Wまで |
| 基材加熱範囲 | 最大 50□ |
| 最高使用温度 | 埋込ヒーター温度600℃ |
| 実勢試用温度 | 約550℃ |
| 標準価格 | 50,000円～(消費税別) |
オプション
- 熱電対 K型センサー 500L
- 真空内リード線 500L×2本
- ユニット固定台、基材資料ホルダー（使用条件に合わせて製作）
- ヒーター本体への追加工など
カートリッジ式プレートヒーター（HPシリーズ）
真空・大気環境での高温加熱実験に！
ヒータ加熱プレート
標準仕様
| 型式 | HP-H2-30 |
|---|---|
| 加熱プレート | SUS304 10t-30W-50L |
| 挿入ヒータ | RAMAROD 1/4″ |
| ヒータ温度 | 最大871℃ |
| ヒータ本数 | 2本 |
| 接続リード線 | 直列・並列選択 |
| 基盤加熱エリア | 30x30mm センサー挿入孔 φ2mm |
| 加熱温度 | 700℃ （加熱プレート熱電対測定位置） |
| 標準価格 | 50,000円（消費税別） |
オプション
- 電源
- 熱電対・碍子類
- リード線・端子類
- 固定台座・リフレクター
- 基板固定部品
- 真空フランジ・導入端子
オプション製作
-
- ヒータ本数
- 大きさ・形状・構成等
- 材質変更（インコネル・モリブデン等）