CF型フランジ用ガスケット

テーパーシール型ガスケット ( IPDシリーズ ) は、CF型フランジ用の無酸素銅ガスケットです。今お使いになっているCF型フランジでそのままご使用いただけます。

通常型の板状ガスケットに比べて、以下のような特長があります。

1. フランジのテーパー部でシールしますので、フランジのエッジの傷・ダレ・タオレに左右されず、確実なシールができます。
2. ほんの少し楕円に変形させるだけで、垂直に位置したフランジにも簡単にセットできます。フランジ締め付け作業中のガスケット落下から解放されます。
3. ガスケットはエッジの外側にありますから、ポートの内径がフルに使えます。
4. 板状ガスケットに比べて、低い締結トルクでシールができます。

全てのサイズについて、銀メッキ品をご用意できます。
貴金属メッキは、ベーキング中の酸化膜形成を抑え、ガスケット取り外し時に剥離した酸化膜がチャンバー内に飛散するのを防ぎます。また、シール面の密着性を向上させる効果があります。

ICNシリーズは、CF型フランジ用のニッケル製ガスケットです。今お使いになっているCF型フランジで、そのままご使用いただけます。
表面が硬くCF用ガスケットに適さないと思われてきたニッケル材を当社独自の形状に加工し、さらに最適な熱処理を加えることにより安定したシールを可能にしました（特許取得済）。

アルミニウム合金製CF型フランジ用の純アルミガスケットです。